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aluminum-dopedzincoxide相关论文
亚微米AZO光栅及其漫透射分布特性
探讨亚微米掺铝氧化锌(AZO)光栅的漫透射光谱特性。在AZO薄膜上涂布光刻胶,用325 nm激光双光束干涉曝光得到掩模图案。将其置于质量分......
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